精密仪器及机械是仪器科学与技术学科中的二级学科，是集精密机械、电子技术、光学、自动控制和计算机技术等学科相互交叉的综合学科。它致力于研究精密仪器及机械的设计理论与制造技术、微型机电系统的设计理论和制造技术、智能仪器与虚拟仪器、智能系统。
研究方向：
1．智能化仪器及机械
2．智能传感技术与系统
3．光电信息技术与仪器
4．机器视觉与图像处理
5．无线传感器网络技术
6．微机电系统技术
7．虚拟仪器、网络仪器及软件无线电技术等
培养目标：
培养硕士研究生应具有精密机械、光学、电子技术、自动控制和计算机技术等方面的知识结构，掌握精密仪器及机械学科领域坚实的基础理论，熟练掌握本学科的专门知识，初步具有本学科的科学研究能力，能独立担负专门技术工作，能熟练地运用计算机和掌握一门外国语，具有健康的体魄和良好的心理素质，可从事专业及相邻专业的教学、科研、科技开发或管理工作。
主要课程：
随机过程、矩阵论、计算方法、现代传感技术与系统、机电系统动力学与仿真、网络化测控技术、有限元分析及应用、信号分析与处理、微弱信号检测技术与系统、无线传感器网络技术、振动理论及应用、虚拟仪器与虚拟测试技术、数字化设计与应用、光电检测技术与系统、先进制造技术、数字图像处理、系统仿真。