微机电工程是机械、电子、物理、材料、信息、生物等领域的交叉学科。该学科专业涉及介观物理、细观力学、微加工技术、微纳米技术等诸多学科的理论与技术，具有突出的生产工艺与测试技术的工程实践性，工程应用领域宽广并具有宏伟的产业前景。
该学科建有微系统研究中心，由王立鼎院士领导下的多位教授和多位具有博士学位的年青教师组成。中心建有面积为950平方米的恒温、超净实验室，有配套的微细加工和测试设备。在微机电系统领域内，在国内外发表了相当数量的论文并获有专利，承担了国家自然科学基金重大、重点、面上项目和国家高技术研究“863”计划项目、国家重大基础研究发展规划“973”项目等多项纵向课题，还与美国、德国、香港、台湾等国家和地区的有关单位开展了广泛的合作与交流。