一、培养目标
应具有较坚实的数学、物理基础知识，掌握本学科的理论基础及系统的专门知识，掌握本学科坚实的应用技术、相关实验技术。熟练掌握一门外语，具有从事科学研究工作及独立从事专门技术工作的能力以及严谨求实的科学态度和工作作风，能胜任研究机构、高等院校和产业部门有关方面的教学、研究、工程开发及管理工作。
二、研究方向
本学科的研究方向有如下方面：
1．物理电子学
带电粒子光学现代理论和计算技术，微纳米器件电子束加工与检测技术，强流电子束物理和高功率微波技术，气体与等离子体电子学，信息显示器件与技术，纳光子学基础理论和实验技术，新型光子材料与器件，紫外光信息存储，光通信器件和全光网络，固态照明器件，真空电子器件。
2．电路与系统
VLSI电路与系统设计，电路与系统CAD及设计自动化，数字图象与数字视频处理，功率电子学，非线性电路与系统，信息显示系统设计与实现。
3．微电子学与固体电子学
深亚微米器件模型与仿真，微波功率器件及其集成，化合物半导体器件；深亚微米工艺集成；片上系统、超大规模集成电路及ASIC设计与测试；微电子机械系统设计与制造；纳米电子材料与器件，电子陶瓷材料与器件，铁电单晶材料，铁电薄膜与器件，机敏材料与器件，纳米复合功能材料与器件，电解质材料与器件。
4．电磁场与微波技术
电磁场理论与技术：电磁场理论与应用，天线理论与技术，电波传播，复杂介质中的场与波，电磁散射与逆散射，环境电磁学与电磁兼容技术，计算电磁学。微波与毫米波理论与技术：微波电路，微波网络，微波集成电路，微波测量理论与技术，微波信息处理与成像。
三、学习年限
全日制攻读硕士学位的学习年限2-3年。
四、培养方式
1．在指导上采取导师负责或学术群体集体培养相结合的方法。导师应根据本方案的要求，在硕士生入学后1周内，制订出硕士生的培养计划。
2．对硕士生的培养采取课程学习和论文工作并重的方式，两者均不得少于一年。
3．硕士生要求取得的总学分为56学分，其中课程学习26学分，必修环节5学分，学位论文25学分。课程学习中学位课不少于13学分，必修环节中讲座环节1学分、社会实践1学分、中期考核3学分。
4．硕士生的学习以授课与课堂讨论形式进行。硕士研究生学术活动（讲座）分为必听讲座和选听讲座。必听讲座包括“科学道德与学风建设”1次、“职业生涯发展与规划导论”1次；选听讲座包括与学科紧密相关的“学科前沿系列专题讲座”（由各二级学科组织若干教授对本学科前沿知识进行讲座，每个讲座由5个以上讲座组成）一个系列和在全校范围内选听“学术讲座”1次，完成全部8个讲座后记1学分。
5．完成实践能力的锻炼，注重所学基础理论的实际应用技能培养。