一、微纳电子系介绍
微纳电子系以1980年9月由教育部批准成立的清华大学微电子学研究所为基础，科研与教学设施先进，师资力量雄厚，有教授与副教授52人，45岁以下青年教师48人，具有博士学位教师52人。拥有国务院首批批准的硕士、博士研究生培养点和博士后流动站，是目前我国培养集成电路产业发展急需人才的重要学科基地。它的成立标志着我国微电子学研究正向纳电子学逐渐过渡，是学科发展的需要，也是全面提升科研、教学水平的需要。研究方向有以下四个方面：新型微电子器件与系统、纳电子学、各类新型SiGe微波功率半导体器件及其它特殊用途的硅集成电路的研究开发、大规模集成电路设计和测试的理论和技术、半导体物理器件与大规模集成电路CAD等。30多年来共培养学士1640多名，硕士与博士930多名。
二、接收本校及外校非委培、非定向类推荐免试生，总人数不超过40人。
三、申请条件：
清华本校申请者须具备的条件：相关院系有推荐免试资格的同学（院系如下）
外校申请者须具备的条件：已成功报名参加清华相关院系推免面试（院系列表如下），但未被录取或未进复试的同学可以报名参加微纳电子系工硕复试。申报要求同“清华大学2012年接收外校推荐免试攻读博士（硕士）学位研究生的有关要求”。请报名同学将已交到原报名院系的材料自行取出送交微纳电子系教学办。
院系列表：电子系、自动化系、计算机系、电机系、精仪系、工程物理系、医学院、材料系、物理系、航院、机械系、热能系、环境系
四、需要提交的书面材料、申请办法
1.清华本校申请者
材料：“清华大学推荐免试研究生申请表”、成绩单（教务部门盖章）、相关书面材料（包括个人简历等）
2.外校申请者：同“清华大学2011年接收外校推荐免试攻读博士（硕士）学位研究生的有关要求”。同学可以将已交到原报名院系的材料自行取出送交微纳电子系教学办。
3．报名截止及面试时间：根据清华大学招生安排另行通知，请随时关注清华微电子所主页。http:www.ime.tsinghua.edu.cn
五、微纳电子系工程硕士研究生培养方式
1、学习期限与培养方式：
全日制脱产学习2－3年。
论文阶段：视导师、论文课题选题情况，在校内相关院系或校外企业进行。
2、学位授予：
学生学习期满、修满培养方案规定的学分、成绩合格，完成论文等规定培养环节，通过论文答辩，并经过清华大学学位评定委员会审议通过后，授予清华大学研究生毕业证书和工程硕士学位证书。
3、培养费用：
3.9万元/人。于新生入学及第二学年注册前分二次交清。（注：在深圳学习期间清华大学对每个在深圳就读的研究生每月补助500元）
4、住宿：
在深圳研究生院学习期间，按深圳研究生院的住宿统一规定执行；在校本部学习期间，按学校有关研究生住宿的统一规定执行。
六、联合培养
微纳电子系与比利时鲁汶大学(K.U.Leuven)大学签订了联合培养协议，推荐免试录取的工学、工程硕士都有机会可获得到比利时学习并获得清华、鲁汶两所大学的硕士学位证书的机会。具体情况介绍请见清华大学微电子所主页www.ime.tsinghua.edu.cn。
七、申请材料邮寄地址及咨询电话
申请材料邮寄地址：北京市清华大学5号楼一层131房间，邮编：100084
清华大学微纳电子系业务办招生咨询电话：010-62787301钱欣
电子邮件：qianxin@tsinghua.edu.cn
网址：http://www.ime.tsinghua.edu.cn