研究室简介
微电子设备技术研究室是专业从事微电子装备技术研发的部门，拥有近30年的技术积累。主要研究方向包括新型集成电路制造与测试装备、新型太阳能电池制造技术和装备、高效率LED制造技术和装备、MEMS加工技术和装备及关键的射频功率源系统技术。
研究室长期承担国家科技重大专项等科研项目,进行创新设备技术探索，研究成果占领国内IC领域新原理设备制高点，在国际上与现有技术生产厂商形成竞争态势，设备主要包括等离子体浸没注入机、原子层沉积设备、光学检测系统、射频电源等，研究成果已应用于黑硅太阳能电池、超浅结先进工艺、纳米薄膜制备等领域。
通过多年的发展，研究室的产品已广泛用于国际国内涉及微电子、光电子、MEMS等领域的企业、高校及研究机构。