精微制造工程
该专业是博士学位和硕士学位授予点。本专业毕业研究生具有严谨求实的科学态度和作风，具有创新求实精神和良好的科研道德，立足现代制造技术的最新进展，结合多学科专门知识，培养学生具备微/纳系统设计、制造、封装、测量与精密装备领域的学科的科学研究能力。满足我国在精、微电子制造领域的教学、科研和工程技术工作以及相关的科技管理工作等方面高层次人才紧缺的需要。
硕士学位主要研究方向：
微/纳器件，系统设计与工艺模拟、微制造与纳米加工技术、微纳系统封装技术、微/纳米尺度测试技术、微/纳机电系统工艺装备。
硕士主要学位课程：
微系统设计与仿真、微机电系统技术基础、微系统封装技术、精微制造技术、扫描探针显微术、材料力学行为及计算仿真、薄膜技术等。
硕士主要选修课程：
微机原理与接口技术、制造过程工艺力学模拟、微机电系统测试与可靠性等。