等离子体物理不仅是物理学中一个重要的分支，同时它又与材料学、化学等学科相互交叉。等离子体技术在微电子、新材料、环境、能源、空间等高新技术领域具有广阔的应用前景。
本专业具有硕士学位和博士学位授予权，并设有博士后流动站，同时是国家重点学科、国家“211工程”和“985工程”重点建设学科。本专业设有等离子体科学与工程研究中心及“三束”材料改性国家重点实验室，并拥有微波ECR等离子体成膜装置、射频等离子体成膜装置、强流脉冲离子注入机及激光诱导荧光光谱诊断系统等一批先进的实验设备。本学科近5年承担了数十项国家自然科学基金、国家“973”项目及省部委研究项目，在低气压等离子体、大气压等离子体物理、空间和聚变等离子体物理，以及相关的应用技术研究方面取得了多项创新性的研究成果，在Physical Review Letters等国际著名学术刊物上发表论文300余篇。