导师姓名：朱煜
性别：男
出生年月：1965年01月
职称：教授
学位：博士
属性：兼职
电子邮件：zhuyu@tsinghua.edu.cn
学术经历：1983.7获北京师范大学无线电电子学系理学学士学位；1993.9获中国矿业大学信电学院计算机系工学硕士学位；2001.7获中国矿业大学机电工程学院工学博士学位。2007.12-今，清华大学精密仪器与机械学系教授、博士生导师。 2009.12-今 电子科技大学兼职教授。
个人简介：主要从事精密测量与控制理论、超精密机械设计与制造技术、电子制造工艺及其装备技术以及电子制造工艺及其装备发展战略的研究，是我国电子制造工艺及其装备研究领域具有重大影响的知名学者之一。
（1）教学工作：参加清华大学“制造工程及技术原理”课程建设与教学，获北京市精品课程和国家精品课程。
（2）科研工作与奖励：负责与参及国家级科研项目10余项（973项目3项，863IC装备项目3项，十一五IC装备重大专项项目1项，自然科学基金2项），获得国家十一五科技计划执行突出贡献奖。
（3）研究生培养：指导博士研究生21名（8名毕业）、硕士研究生11名（5名毕业）、博士后14名（8名出站）。
（4）学术成果：近年来发表论文100余篇，被SCI检索7篇，EI检索38篇，出版专著1部。获得国家发明专利29项，美国专利2项，申请国家发明专利30余项，美国专利2项, PCT 5项。
（5）社会兼职：国家科技重大专项02专项总体专家组副组长；国家光刻设备工程技术研究中心清华大学精密机械与测控研究基地主任，首席专家；中国机械工程学会高级会员；北京市电子制造设备行业协会常务理事；《半导体学报》常务理事，多个IC装备产业创新联盟专家委员会副主任委员。
硕士招生专业
080201机械制造及其自动化
03方向：制造装备的检测、控制与自动化
06方向：先进电子制造技术